我国高端镀膜装备实现自主突破，新景昇首台 8.5 代电致变色薄膜设备下线

IT之家 11 月 6 日消息，据北京亦庄公众号，近日，北京新景昇智联科技有限公司（以下简称“新景昇”）8.5 代电致变色薄膜产线完成重大攻关节点验收并成功下线首台设备，标志着我国大面积连续磁控溅射镀膜核心装备实现重大突破，补齐产业链上游关键短板。

IT之家从官方介绍获悉，电致变色薄膜是一种可通过电压可逆调节光学状态的功能薄膜，可应用于建筑节能、交通调光以及集成电路与光电器件等领域。8.5 代产线的难点在于大尺寸基板上多层薄膜的均匀性和连续量产稳定性，而此类高端镀膜装备长期依赖进口。

据悉，历经八年攻关，新景昇自研的 8.5 代电致变色薄膜设备可实现超大基板多层薄膜连续制备，膜厚均匀性控制在 2% 以内。接下来，该设备将运往哈尔滨景烁智能科技有限公司开展工艺验证，支撑全固态电致变色薄膜产业化落地。

北京经开区集成电路领域目前已形成覆盖设计、制造、封测、装备、材料、零部件等环节的完整产业链。今年 1 至 9 月，经开区实现集成电路产业产值 1667 亿元，同比增长 100%。

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所谓“8.5 代”指的是玻璃基板的世代规格，第 8.5 代玻璃基板尺寸为 2200 毫米 × 2500 毫米，世代越高代表可加工的基板尺寸越大。该设备所采用的大面积连续磁控溅射工艺属于物理气相沉积（PVD）的一种，是在真空环境下使靶材原子沉积到基板表面从而生长出薄膜的制备方法。

电致变色薄膜的工作原理是：在小电压（约 1.2 至 3V）驱动下，锂离子在电致变色层与反向电致变色层之间移动，分别与两个变色层发生稳定可逆的氧化及还原反应，从而调节玻璃的反射率、透光率和吸收率等，控制进入室内的光线与热量。

新景昇是北京经开区重点引进培育的半导体装备标杆企业，专注于大面积镀膜技术及成套设备的研发制造，主营 EC（电致变色）玻璃相关技术与产品开发。全固态无机电致变色薄膜可应用于建筑幕墙、汽车后视镜、新能源车天幕玻璃、AR / VR 眼镜等领域，实现玻璃透光度的自主调节。